氧压对Zn1-xAlxO薄膜结构的影响及激光感生电压效应

• 作者: 周小芳 张辉 张鹏翔 李勇
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 脉冲激光沉积 激光感生电压 各向异性泽贝克系数
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 130-132,140
• 分类号: O484.1
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.035

摘要

为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感牛电压效应的影响,采用脉冲激光沉积法在蓝宝石(0001)单晶平衬底上制备了薄膜.并利用x射线衍射对薄膜的结构进行了表征,测量了薄膜在紫外脉冲激光辐照下诱导产生的激光感生电压信号,对结果进行了理论分析和实验验证,成功制备出了单一取向的薄膜,确定了最佳生长条件,并利用这一条件在倾斜蓝宝石衬底上制备了薄膜.结果表明,当薄膜受到波长为248nm、脉冲宽度为20ns的脉冲激光照射时,在薄膜两端存在较大的激光感生电压信号,其最大值为0.532V,且随着退火氧压的增大,激光感生电压的峰值信号先增大后减小.这一结果对薄膜在紫外探测器方面的应用是有帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏翔	昆明理工大学光电子新材料研究所	148	1293	19.0	28.0
2	李勇	昆明理工大学光电子新材料研究所	72	533	13.0	21.0
3	张辉	昆明理工大学光电子新材料研究所	66	154	6.0	8.0
4	周小芳	昆明理工大学光电子新材料研究所	7	139	5.0	7.0