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摘要:
为了研究不同退火氧压对铝掺杂氧化锌薄膜结晶质量和激光感牛电压效应的影响,采用脉冲激光沉积法在蓝宝石(0001)单晶平衬底上制备了薄膜.并利用x射线衍射对薄膜的结构进行了表征,测量了薄膜在紫外脉冲激光辐照下诱导产生的激光感生电压信号,对结果进行了理论分析和实验验证,成功制备出了单一取向的薄膜,确定了最佳生长条件,并利用这一条件在倾斜蓝宝石衬底上制备了薄膜.结果表明,当薄膜受到波长为248nm、脉冲宽度为20ns的脉冲激光照射时,在薄膜两端存在较大的激光感生电压信号,其最大值为0.532V,且随着退火氧压的增大,激光感生电压的峰值信号先增大后减小.这一结果对薄膜在紫外探测器方面的应用是有帮助的.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 氧压对Zn1-xAlxO薄膜结构的影响及激光感生电压效应
来源期刊 激光技术 学科 物理学
关键词 薄膜 脉冲激光沉积 激光感生电压 各向异性泽贝克系数
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 130-132,140
页数 分类号 O484.1
字数 2600字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.035
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张鹏翔 昆明理工大学光电子新材料研究所 148 1293 19.0 28.0
2 李勇 昆明理工大学光电子新材料研究所 72 533 13.0 21.0
3 张辉 昆明理工大学光电子新材料研究所 66 154 6.0 8.0
4 周小芳 昆明理工大学光电子新材料研究所 7 139 5.0 7.0
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研究主题发展历程
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薄膜
脉冲激光沉积
激光感生电压
各向异性泽贝克系数
研究起点
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激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
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25972
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