基于DSP的磁控溅射电源的设计与实现

• 作者: 畅福善 邵桂荣
• 来源期刊: 电力电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射电源 数字信号处理器 真空镀膜
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 装置及应用
• 页码范围: 90-92
• 分类号: TN86
• 字数: 1619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-100X.2011.05.033

摘要

磁控溅射镀膜技术以高速、低温两大特点在真空镀膜工业中得到广泛应用,而靶材的异常放电会导致溅射过程不稳定,严重影响膜层质量.针对大型真空镀膜设备,从直流磁控溅射电源的等离子体负载特性出发,设计并研制了一款数字化的直流磁控溅射电源.该电源采用TMS320LF2407型DSP作为主控制器.详细介绍了主电路的拓扑结构、主要参数的计算、控制电路的软、硬件具体实现方案.系统测试和运行结果表明,电源的稳定性、可靠性及可调范围均可满足磁控溅射镀膜的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵桂荣	运城学院物理与电子工程系	21	59	3.0	7.0
2	畅福善	运城学院物理与电子工程系	14	54	6.0	7.0