提高光栅莫尔条纹信号质量的滤波方法

• 作者: 乔栋 吴宏圣 曾琪峰 郭帮辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 莫尔条纹 相位差滤波 指示光栅 高次谐波
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 1944-1949
• 分类号: O436.1
• 字数: 3131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1944

摘要

针对莫尔条纹信号的质量问题提出一种相位差滤波法.将指示光栅上四场裂相方式中每场细分为多个不同相位的行组合,利用行组合间的不同相位排列关系来消弱高次谐波的分量,从而提高莫尔条纹信号的质量.首先,介绍了莫尔条纹的傅里叶级数表达式,对莫尔条纹的各次谐波特性进行了分析.然后,以指示光栅的图案设计为例,阐明该滤波方法消除二次、三次和四次谐波的过程.最后,通过仿真和实验,验证了该滤波方法对削弱高次谐波的有效性.实验结果表明,该滤波方法可将莫尔条纹信号的三次谐波削弱4.9％,在20 μm内测量精度提高了0.5 μm.另外,该方法仅改变指示光栅的刻划图案,不增加制造成本和体积,实用性强,易于工业生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔栋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	58	3.0	5.0
2	吴宏圣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	364	10.0	19.0
3	曾琪峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	53	2.0	3.0
4	郭帮辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	132	7.0	11.0