气密封器件内部残存气氛的检测和控制技术

• 作者: 牛付林 魏建中
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子元器件 气密封 残存气氛 内部气氛分析 封装
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 封装、检测与设备
• 页码范围: 84-87
• 分类号: TN406
• 字数: 3044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.01.021

摘要

从气密封器件内不良残存气氛的来源和相关标准中对内部残余气氛的含量要求出发,介绍了目前常用的气密器件内部残余气体的检测方法及原理,着重论述了残存气氛检测技术中的取样技术和数据分析方法的重要性.从5个方面提出了生产工艺中内部残存气体的控制方法.选取3种典型气密封器件的案例来说明只有保证取样准确、数据分析充分,检测数据才能真正反映产品批的质量状况.