辉光放电离子溅射在扫描电镜样品制备中的应用

• 作者: 余卫华 张穗忠 李江文 陈士华
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 化学
• 关键词: 辉光放电 溅射 扫描电镜 样品制备 热镀锌板
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 6-10
• 分类号: O657.31
• 字数: 2064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7571.2011.03.002

摘要

辉光光谱仪的样品激发方式是阴极溅射,逐层分离.这个特点决定了该技术也可用于扫描电镜的样品制备中.扫描电镜可以用于观测热镀锌板镀层中的各种相,但由于某些相的厚度太薄,截面无法观测.本文利用辉光光谱仪对热镀锌板样品进行表面溅射,用扫描电镜对得到的不同厚度处的"新"表面进行了形貌观测,用能谱仪进行成分分析,达到了观测镀层中几乎所有相的目的,表明辉光放电离子溅射是一种可行的扫描电镜样品制备方法.