一种新型电容式压力传感器的研究

• 作者: 徐鹏 李新娥 祖静 马铁华
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器仪表技术 压力测量 电容 传感器
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 476-481
• 分类号: TH89|TH73|TH823
• 字数: 2166字
• 语种: 中文

摘要

利用电子测压器壳体本身是弹性元件的特点,提出设计一种以测压器壳体作为弹性敏感元件的电容式压力传感器,阐述了该电容式压力传感器的工作原理,结构设计,并进行了理论计算,同时利用ANSYS对其力学特性、电容数值进行了模拟,进行了实验验证,测试结果表明,该电容式压力传感器有很好的线性,且灵敏度达到0.096 pF/MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祖静	中北大学信息与通信工程学院	164	1256	17.0	25.0
5	李新娥	中北大学信息与通信工程学院	85	474	12.0	18.0
9	马铁华	中北大学信息与通信工程学院	194	1323	17.0	27.0
13	徐鹏	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	61	497	12.0	21.0