衬底温度对ZnO薄膜的结构和光学特性的影响

• 作者: 吕有明 宿世臣 张吉英 申德振
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 等离子体辅助分子束外延 光致发光
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 736-739
• 分类号: O482.31
• 字数: 2046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113207.0736

摘要

利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)设备在蓝宝石衬底上通过改变生长温度,制备了不同的ZnO样品.研究了衬底温度对ZnO的结构、光学和电学性质的影响.样品的晶体结构利用X射线衍射谱进行表征.X射线衍射谱表明,所有的ZnO样品都是(002)取向的六角纤锌矿结构.随着生长温度的升高,X射线的(002)衍射峰的半峰全宽逐渐减小.样品的表面形貌随着衬底的温度改变而变化,在800℃得知了平整的ZnO表面.通过光致发光的实验得知,ZnO的紫外发光随着生长温度的升高,强度逐渐增强.光致发光的来源为ZnO的自由激子发光.在生长温度为800℃时,得到了高质量的ZnO单晶薄膜,X射线衍射峰的最大半峰全宽为0.05°,霍尔迁移率为51 cm2/(V·s),载流子浓度为1.8×1018 cm-3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	申德振	中国科学院激发态物理重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	28	102	6.0	8.0
2	张吉英	中国科学院激发态物理重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	13	64	5.0	7.0
3	宿世臣	华南师范大学光电子材料与技术研究所	10	25	3.0	5.0
7	吕有明	深圳大学材料科学与工程学院	12	27	3.0	4.0