Preparation of BST nanocrystals embedded in Si02 film by magnetron sputtering for nonvolatile memory applications

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Preparation of BST nanocrystals embedded in Si02 film by magnetron sputtering for nonvolatile memory applications

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SiO2薄膜

纳米晶体

磁控溅射

BST

嵌入式

非易失性

Si02

透射电子显微镜

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篇名	Preparation of BST nanocrystals embedded in Si02 film by magnetron sputtering for nonvolatile memory applications
来源期刊	中国科学通报(英文版)	学科	工学
关键词	SiO2薄膜纳米晶体磁控溅射 BST 嵌入式非易失性 Si02 透射电子显微镜
年，卷（期）	2011,（11）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	1139-1141
页数	3页	分类号	TP333\|O484.1
字数		语种	中文
DOI