分子泵在质谱技术中的应用

• 来源期刊: 实验与分析
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 质谱技术 高真空系统 应用 真空技术 最终用户 分析仪器 抽气速率
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 61-61
• 页数: 1页
• 分类号: TB752.27

摘要

真空技术的要求 高真空系统主要包括分子泵、机械泵、干泵和真空计等，分析仪器生产商和最终用户对真空系统的要求主要包括：分子泵的性能，包括抽气速率、气体压缩比、进气负载、前级真空要求等；前级真空，例如机械泵、干泵等；低成本，包括原始设备成本、运行成本、维护成本、维护周期、现场维护等；可靠性、安全性；空间尺寸、安装角度、功耗等。