微陀螺梳齿静电驱动力的计算方法

• 作者: 姚峰林 高世桥
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微陀螺 边缘效应 拐角效应 数值计算 驱动力
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1265-1269
• 分类号: TP212.1|TB934
• 字数: 2772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.09.008

摘要

准确计算静电力是分析微机械陀螺力学特性的关键.文章基于微陀螺静电驱动原理,介绍了微梳齿结构的静电场计算的无限大平板模型,边缘效应模型,拐角效应模型三种模型.推导了三种模型的电容计算公式和静电力计算公式.通过数值计算和有限元计算,得到交叠长度变化时,不同计算模型的电容和静电驱动力的对比和各种模型的适用范围.说明在微尺度条件下静电场的边缘效应和拐角效应应当在设计和计算梳齿时应当充分考虑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高世桥	北京理工大学机电学院	58	376	9.0	18.0
2	姚峰林	北京理工大学机电学院	24	45	5.0	6.0