微机械气流式倾角传感器的研究

• 作者: 余全刚 崔雪梅 张保丽 朴林华 梅传志 王星
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 倾角 气流 敏感元件
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 60-61,64
• 分类号: TN379
• 字数: 909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.12.018

摘要

提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器.采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁,用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件；通过惠斯登电桥提取倾角电压信号；利用单片机和温度传感器构成补偿电路,实现温度补偿和线性度补偿.测试结果表明:测量范围为+30°,分辨率为优于0.1°,响应时间优于50 ms,非线性度优于0.1％.该传感器不仅体积小,而且结构紧凑,工艺简单,敏感元件输出一致性好,适于批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朴林华	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	64	172	7.0	10.0
2	崔雪梅	延边大学师范学院	48	154	5.0	11.0
3	王星	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	8	12	3.0	3.0
4	余全刚	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	8	12	3.0	3.0
5	梅传志	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	8	8	2.0	2.0
6	张保丽	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	8	8	2.0	2.0