Pr3+掺杂SrTiO3薄膜的聚合物前驱体法制备及发光性能

• 作者: 崔传伟 陈磊 魏贤华
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 聚合物前驱体法 Pr3+掺杂 SrTiO3 薄膜 发光
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 25-27
• 分类号: TM277
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.03.008

摘要

采用聚合物前驱体法,在LaNiO<,3>/si(100)衬底上低温制备了Pr<,3+>掺杂SrTiO<,3>薄膜.用XRD,AFM、PL手段分析了薄膜的晶体结构、表面形貌与发光性能.结果显示,退火温度决定SrTiO<,3>薄膜的晶粒大小和表面形貌,在600℃退火2 h获得的薄膜表面均匀、无裂痕,晶粒大小约为60 nm,表面粗糙度约为2.5 nm.该薄膜样品的发光集中在490,592和616 nm三个波段,主要对应于Pr<,3+>的<,1>D<,2>→<'3>H<,4>和<,3>P<,0>→<,3>H<,4>的能级跃迁.这种高稳定性、水溶液基方法制备的薄膜具有优良的发光性能,有利于其在发光器件中的应用.