Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析

• 作者: 杨怀江 王平 王汝冬 王立朋 田伟 隋永新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Fizeau干涉仪 光机稳定性 重复性 光-机-热耦合分析
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 纳米技术与精密机械
• 页码范围: 2100-2107
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2100

摘要

搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等.首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-热耦合分析并计算不同温度下光机结构的热分布和结构变形；然后,通过Zernike多项式拟合透镜表面面形和曲率半径,利用光学仿真软件分析变形后的光学系统；最后,对系统光学质量进行概率分析,评价了系统的热稳定性.分析结果表明,温度控制在(22士0.1)℃时,在2σ的置信水平下,Fizeau干涉仪的出射光波前的重复性可以达到0.016％λ,基本满足干涉仪主机光机系统的重复性要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	217	9.0	14.0
2	王平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	192	2203	24.0	40.0
3	王汝冬	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	23	3.0	4.0
4	王立朋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	39	4.0	6.0
5	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
6	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	62	411	11.0	18.0