甲烷浓度对光学级金刚石膜生长的影响

• 作者: 付志雄 毕冬梅
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 甲烷浓度 膜的质量
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 58-60
• 分类号: O484
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3907-B.2011.03.018

摘要

采用微波PCVD系统进行了高品质透明金刚石膜的制备,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化直接影响着金刚石膜的生长和质量.用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毕冬梅	长春大学理学院	39	44	4.0	4.0
2	付志雄	长春大学理学院	13	10	2.0	2.0