基于Si塑性变形的二维驱动器的设计

• 作者: 戈肖鸿 李伟 车录锋 陈琳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二维驱动器 塑性变形 绝缘填充槽 梳齿驱动 垂直位错
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 577-581
• 分类号: TH706|TH703
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.08.001

摘要

设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成.驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DRIE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器.经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	315	4950	35.0	61.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	陈琳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	40	473	12.0	21.0
7	戈肖鸿	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	6	24	3.0	4.0