热处理工艺对减反膜性能的影响

• 作者: 徐志伟 穆元春 肖昊江
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 减反膜 溶胶一凝胶 热处理工艺
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与研制
• 页码范围: 3-6
• 分类号: TQ171
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2011.10.001

摘要

以本实验室制备的高性能减反膜为研究对象，利用溶胶一凝胶法合成SiO：溶液，采用高速旋涂法制备纳米多孔SiO2减反膜，测试结果表明涂覆在白玻基材上的减反膜在可见光波段（400～800nm）范围内的透过率为94．6％±0．3％，其在405nm波长处的透过率达到1198．27％；同时进一步研究了热处理工艺在减反膜涂覆阶段对其减反性能的影响，研究发现：如果在基材表面涂覆一定厚度的减反膜，不同的热处理工艺对其的减反效果影响很大；如果热处理工艺选择不当，会使最终得到的涂层失去减反效能，甚至大幅度降低基材本身的透过率，为84．9％±1．1％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	穆元春		15	14	2.0	3.0
2	徐志伟		16	9	2.0	2.0
3	肖昊江		5	17	2.0	4.0