具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

• 作者: 任秀娟 关宝璐 张敬兰 揣东旭 李硕 沈光地 郭帅 郭霞
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 微纳光机械 波长可调谐
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 262-265
• 分类号: TN248
• 语种: 中文

摘要

基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0 V增加到7 V时,对应激射波长将从968.8 nm蓝移到950 nm,整个调谐范围达到了18.8 nm,可调谐VCSEL器件表现出了优异的激光特性,并实现了波长连续可调.