高灵敏压力传感器过载保护结构设计

• 作者: 刘晓为 孙瑞 揣荣岩 王健
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 牺牲层技术 过载保护 非线性接触
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 675-678
• 分类号: TH212
• 字数: 3237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.05.010

摘要

采用微机电系统(MEMS)牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题.为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析.通过这两种分析方法的结合,准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布.在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法,从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180%～220%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健	沈阳工业大学信息科学与工程学院	25	117	7.0	9.0
2	揣荣岩	沈阳工业大学信息科学与工程学院	31	90	5.0	8.0
3	孙瑞	沈阳工业大学信息科学与工程学院	1	5	1.0	1.0