轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响

• 作者: 孙超 宫骏 肖金泉 赵彦辉 郎文昌 闻立时
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 轴对称磁场 电弧离子镀 大颗粒 组织结构 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 566-572
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2010.00686

摘要

利用轴对称磁场增强电弧离子镀工艺制备TiN薄膜,对薄膜表面大颗粒尺寸、数量及大颗粒与薄膜的面积比进行了分析统计,研究了轴对称磁场横向分量强度对薄膜表面大颗粒尺寸和数量、薄膜组织结构及摩擦性能的影响.结果表明,随着轴对称磁场横向分量强度的增加,大颗粒的尺寸和数量大幅度减少,不同尺寸大颗粒的形貌差别很大,TiN薄膜的(111)择优取向增强,薄膜的晶粒尺寸减小且分布均匀;同时,薄膜的摩擦系数及其随时间的波动减小,耐磨性增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	肖金泉	中国科学院金属研究所	21	112	7.0	10.0
5	赵彦辉	中国科学院金属研究所	20	60	5.0	6.0
6	郎文昌	中国科学院金属研究所	3	11	2.0	3.0