高精度6inch F/5.4球面标准具结构研究与设计

• 作者: 史振广 杨怀江 田伟 隋永新
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 光学检测 球面标准具 参考面 有限元法
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 69-74
• 分类号: TH702
• 字数: 3094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.05.013

摘要

193 nm光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米级.在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,干涉仪标准球面镜的精度要优于λ/40.根据检测要求,设计了一种新的标准镜装卡结构.采用有限元方法分析了参考面在重力作用下的面形变化情况,其最大面变形变化峰谷(PV)值仅为4.88 nm,均方根(RMS)值为1.04 nm.同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值.利用标准具面形的Zernike系数,得到了标准具系统的MTF,以实现标准具在重力作用下的像质评价.结果表明,所设计的标准具的结构可以满足标准具的设计要求.最后设计了差动螺钉驱动误差补偿机构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	33	217	9.0	14.0
2	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
3	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	62	411	11.0	18.0
4	史振广	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	44	3.0	6.0