二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响

• 作者: 林妩媚 殷可为 邢廷文 黄智强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射光学元件 二元光学元件 横向误差 衍射效率 标量衍射理论 MATLAB
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 页码范围: 46-49,54
• 分类号: O436.1
• 字数: 1655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.09.009

摘要

横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题.本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系.结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响.这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值.该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢廷文	中国科学院光电技术研究所	67	501	11.0	17.0
2	林妩媚	中国科学院光电技术研究所	21	154	8.0	11.0
3	黄智强	中国科学院光电技术研究所	5	62	3.0	5.0
4	殷可为	中国科学院光电技术研究所	3	24	3.0	3.0