小发散角垂直腔面发射激光器的设计与制作

• 作者: 刘云 孙艳芳 宁永强 张岩 王立军 秦莉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 远场发散角
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 47-52
• 分类号: TN248.4
• 字数: 3427字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113201.0047

摘要

针对垂直腔面发射激光器单管及列阵器件较大的远场发散角,对大直径单管器件及列阵单元器件的有源区中的电流密度分布进行了模拟计算,分析了器件高阶横模产生的原因.分别采用优化p面电极直径和镀制额外金层结构来抑制单管及列阵器件远场光斑中的高阶边模,所制作的氧化孔径为600 μm的单管器件的远场发散角半角宽度从30°降低到15°;氧化孔径200μm,单元间距280μm的4×4列阵的远场发散角从30°降低到10°.