“上海先进”国内首条MEMS工艺平台实现量产

• 来源期刊: 现代显示
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS工艺 生产平台 上海 国内 消费电子 微机电系统 半导体制造 压力传感器
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 页码范围: 55-55
• 分类号: TH-39
• 语种: 中文

摘要

“上海先进”（ASMC／上海先进半导体制造股份有限公司）在MEMS（微机电系统）代工领域取得重大进展，在打造国内MEMS工艺生产平台的同时，首条MEMS工艺生产线已进入量产。“上海先进”MEMS生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。