钽在硫酸-甲醇体系中的电抛光工艺研究

• 作者: 张淑洋 张运娟 李朝阳 邢丕峰 韦建军
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 钽 电解抛光 表面粗糙度 极化曲线
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 1177-1180
• 分类号: O646.5
• 语种: 中文

摘要

为制备出高温高压状态方程( EOS)研究中所需的高质量钽膜,采用硫酸-甲醇体系电解液对钽片进行电解抛光实验,测定了钽的阳极极化曲线,表征了钽样品抛光前后的表面形貌,分别研究了电解液配比、抛光电压、搅拌速率和电解液温度等因素对抛光效果的影响.抛光后钽表面均方根粗糙度和形貌测试结果表明,硫酸-甲醇体系适用于钽的电解抛光,并初步确定了钽的电解抛光工艺参数,即硫酸与甲醇体积比为1；7,电解电压为15～20 V,温度为-10～0℃,搅拌速率大于8 m/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张运娟	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	12	2.0	3.0
5	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
6	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
7	李朝阳	四川大学原子与分子物理研究所	1	2	1.0	1.0
8	张淑洋	四川大学原子与分子物理研究所	1	2	1.0	1.0