Mn掺杂对ZnO薄膜结构及发光性能的影响

• 作者: 康朝阳 徐彭寿 杨远俊 潘国强 陈香存
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线衍射 光致发光 ZnO薄膜 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能研究
• 页码范围: 1247-1250
• 分类号: O482.31
• 字数: 371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113212.1247

摘要

利用脉冲激光沉积的方法在Si衬底上生长出了c轴高度取向的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射表明所有样品都具有纤锌矿结构,没有发现其它相,随着掺杂量的增加,c轴晶格常数增大.原子力显微镜结果显示:Mn的掺杂引起了ZnO薄膜表面粗糙度的变化.由光致发光谱发现,在387 nm附近出现了由于近带边自由激子复合引起的紫外峰,还有以430和545 nm为中心的较宽发光峰,结果表明:掺入到ZnO薄膜中的Mn以+2价的价态存在,掺Mn以后的ZnO薄膜带隙变大,缺陷能级也发生了改变,在发光谱中表现为紫外峰的蓝移,可见光部分430 nm和545 nm位置处发光峰的红移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐彭寿		70	488	10.0	19.0
2	康朝阳		13	59	5.0	7.0
3	潘国强		22	72	5.0	7.0
4	陈香存		6	17	3.0	3.0
5	杨远俊		1	1	1.0	1.0