耦合波法和模式匹配法分析亚波长光栅中的光场分布

• 作者: 倪争技 庄松林 张大伟 杨惠尹 黄元申
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 亚波长光栅 模式匹配 耦合渡 严格矢量分析
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 光通信与网络
• 页码范围: 29-31
• 分类号: O436.1
• 字数: 3964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2011.01.013

摘要

对于亚波长微结构光学元件,其特征尺寸为波长量级或亚波长量级,刻蚀深度也较大,标量衍射理论中的假设和近似己不再成立.此时,光的偏振性质和不同偏振光之间的相互作用对光的衍射结果起着重大作用,因此,必须应用严格的矢量衍射方法来分析和进行设计.在光栅问题的精确数值汁算方法中,目前常用的两种方法为耦合波法和模式匹配法.我们应用耦合波法或模式匹配法,能够处理任意面型,任意入射面,任意厚度和任意折射率的光栅衍射问题.本文分别详尽介绍了两种方法的理论分析,最后给出了二者的异同及它们的优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学现代光学仪器研究所	117	391	11.0	15.0
2	庄松林	上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学现代光学仪器研究所	199	1335	20.0	29.0
3	黄元申	上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学现代光学仪器研究所	56	348	11.0	16.0
4	倪争技	上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学现代光学仪器研究所	43	341	12.0	17.0
5	杨惠尹	上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学现代光学仪器研究所	1	4	1.0	1.0