一种用于气体检测MEMS电容式红外发光强度探测器

• 作者: 张正勇 杨地委
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气动腔 平板电容 红外探测器 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器与变送器
• 页码范围: 68-70
• 分类号: TP212
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2011.03.023

摘要

文章提出了一种用于气体检测的MEMS电容式红外发光强度探测器.结合理论推导和仿真分析确定了该探测器的尺寸大小,并对其制作工艺流程做了叙述.它基于气体的红外吸收热效应,借助弹性薄膜的形变将热量变化转变为电容量变化,再经基于运算放大器的电容微传感器检测电路以电压信号输出.将它与环境气室采用MEMS技术一体化,能够得到体积小、精度高和可批量生产的气体检测装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张正勇	中国科学院合肥智能机械研究所	23	241	7.0	15.0
2	杨地委	中国科学院合肥智能机械研究所	2	4	1.0	2.0