化学气相沉积包覆燃料颗粒ZrC涂层的模拟计算

• 作者: 刘兵 刘超 唐春和 圣锋 苏海燕
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 包覆燃料颗粒 ZrC涂层 化学气相沉积 模拟计算
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 1289-1293
• 分类号: TL424
• 语种: 中文

摘要

ZrC涂层是高温气冷堆包覆燃料颗粒最具潜力的一种阻挡层材料.本文利用热力学软件HSC-Chemistry 5.0对化学气相沉积ZrC涂层进行模拟计算.结果表明,化学气相沉积ZrC涂层较佳工艺参数范围如下:原料气体中C/Zr比为0.5～1.5,H2/Ar比为0.5～1.5,沉积温度为1 450～1 650℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘兵	清华大学核能与新能源技术研究院	242	1175	17.0	27.0
2	唐春和	清华大学核能与新能源技术研究院	40	239	9.0	13.0
3	刘超		5	6	1.0	2.0
4	圣锋		5	3	1.0	1.0
5	苏海燕		3	3	1.0	1.0