冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用

• 作者: 丁宏升 傅恒志 杨劼人 苏彦庆 郭景杰 陈瑞润 黄锋
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 冷坩埚 电磁感应 多晶硅 提纯
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 90-96
• 分类号: TF133
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2011.07.019

摘要

综述了冷坩埚技术的原理、特点与技术要求,重点介绍了电磁冷坩埚技术的工艺性能与影响因素,总结了各因素对冷坩埚性能的影响规律,最后概述了冷坩埚技术在多晶硅提纯与成型制备中的优势和应用,并展望了其未来的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭景杰	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	239	2308	23.0	34.0
2	傅恒志	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	156	1477	19.0	29.0
3	陈瑞润	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	45	291	9.0	16.0
4	丁宏升	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	58	628	14.0	22.0
5	苏彦庆	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	140	1180	19.0	27.0
6	黄锋	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	5	72	4.0	5.0
7	杨劼人	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	4	32	4.0	4.0