交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究

• 作者: 刘常升 张广平 张滨 王鸣
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Au薄膜 交流电 热疲劳
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 601-604
• 页数: 4页
• 分类号: TF777.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2010.00668

摘要

本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为.结合实验结果和理论计算,确定了交流电作用下6μm宽Au薄膜导线上的温度分布,并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围.结果表明,应变范围△ε≤0.35%,经过5×106cyc热循环后,Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长,晶界损伤导致Au互连线的最终失效.对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析.