椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响

• 作者: 孙硕 林远芳 茹启田 郑晓东 黄强盛
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 椭偏法 椭偏方程 超越方程 隐函数 反函数 误差分析
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 光学工程
• 页码范围: 1485-1489
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2011.08.027

摘要

为了分析透明均匀介质膜的椭偏方程中所隐含的椭偏参数和薄膜参数(膜厚、折射率)之间的误差关系,提出基于误差传递公式和反函数组定理,通过求出椭偏参数对薄膜参数的偏导在名义膜厚和名义折射率处的值来反求后者对前者的偏导值,进而绘出不同入射角下膜厚和折射率误差与椭偏参数测量误差之间的关系曲线的方法.该法所得结果表明,椭偏参数测量误差导致的膜厚误差和折射率误差并非在同一入射角下达到最小；它们最小时所分别对应的最佳入射角随着入射光波长、薄膜名义膜厚、名义折射率和基片折射率变化而变化；若以各自最佳入射角时所对应测得的膜厚和折射率作为薄膜参数测试值,则能有效提高测量精度.该结论与在激光椭偏仪上的实际测量结果相符.文中方法对分析其他超越方程中多个变量之间的误差关系以及各变量值的优化选取有一定参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓东		27	213	7.0	14.0
2	林远芳		21	266	9.0	16.0
3	孙硕		2	2	1.0	1.0
4	黄强盛		1	0	0.0	0.0
5	茹启田		1	0	0.0	0.0