光谱共焦位移传感器的色散物镜设计

• 作者: 刘乾 刘波 杨维川 袁道成
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 光谱共焦 光学设计 色散镜头
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 131-135
• 分类号: TP212|O439
• 字数: 3188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.07.022

摘要

光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点,传感器的关健部件是产生轴向色散的物镜.本文对传感器的工作原理进行了分析,推导了计算物镜光学参数的公式,并依据此公式计算结果设计物镜,得到了满足设计指标的物镜,且与理论计算相符.传感器的工作波长范围是500～700 nm,设计的色散物镜利用高色散玻璃和双胶合透镜达到了1 mm的量程,配以合适的光谱仪,传感器分辫率优于1 μm.物镜使用齐明透镜和双胶合透镜减小球差,使得各波长的最大球差约为0.6 μm,满足物镜精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘波	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	18	64	5.0	7.0
2	袁道成	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	190	9.0	13.0
3	刘乾	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	12	65	4.0	8.0
4	杨维川	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	12	70	5.0	8.0