6R机械手在CMP设备中的运动空间分析

• 作者: 徐荐良 柳滨 陈波 高文泉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机械手 工作空间 蒙特卡洛法
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 11-14,56
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.11.004

摘要

工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程，确定了机械手工作空间；并利用D-H坐标法，建立6R机械手的数学模型，得到机械手来端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后，采用蒙特卡洛数值分析法，仿真了机械手的运动空间，结果显示，该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间。满足CMP设备的使用需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳滨	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	42	4.0	6.0
2	陈波	中国电子科技集团公司第四十五研究所	31	45	3.0	6.0
3	高文泉	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	6	1.0	2.0
4	徐荐良	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	1	1.0	1.0