长脉冲激光对组成CCD图像传感器的MOS光敏单元的硬破坏机理研究

• 作者: 倪晓武 张喜和 毕娟
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 长脉冲激光 CCD图像传感器 硬破坏机理 层间分裂
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 332-337
• 分类号: TN215
• 语种: 中文

摘要

以帧转移型面阵CCD图像传感器为例,采用有限元法研究了波长1.06μm,脉宽ms量级长脉冲Nd：YAG激光与组成CCD传感器的MOS光敏单元的作用过程及硬破坏机理.建立了长脉冲激光辐照MOS光敏单元的热力耦合模型,模拟了MOS光敏单元的温度分布和应力分布.研究结果表明：在长脉冲激光作用下,由于S层表面径向压应力超过其抗压强度引起MOS光敏单元出现了OS层间分裂,进而受径向、环向和轴向压应力的共同作用下,在光敏单元还未熔融时,层间分裂就扩大至光敏单元的整个OS层间.OS层间完全分裂会使光敏单元发生硬破坏,并造成CCD传感器中激光照射区的单个或一列光敏单元的功能完全失效.文章的研究结果可为CCD图像传感器的激光损伤及防护提供必要的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪晓武	南京理工大学理学院	227	2204	23.0	31.0
2	张喜和	长春理工大学理学院	88	397	10.0	13.0
3	毕娟	长春理工大学理学院	15	111	7.0	10.0