基于比率法的微电容测量仪

• 作者: 刘以建 叶银忠 彭建学 李建明
• 来源期刊: 电测与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 微电容测量 锁相放大 杂散电容 噪声 直流失调
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 产品设计与分析
• 页码范围: 64-68
• 分类号: TM934.23|TP211.5
• 字数: 2665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1390.2011.10.015

摘要

针对传统微电容测量方法的缺点提出了微电容比率测量法.采用带限流电阻的正弦波激励确保激励源和前置放大器正常工作以提高消除杂散电容的能力；检测被测电容两端的电压和流过被测电容的电流计算得到被测电容的电容值；采用锁相检测技术消除噪声和直流失调.给出了微电容测量系统的方案.实验结果表明电容测量分辨率达到了0.01pF,证明了所提出方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶银忠		45	354	9.0	17.0
2	刘以建	上海海事大学物流工学院	43	370	9.0	18.0
3	彭建学		1	8	1.0	1.0
4	李建明		1	8	1.0	1.0