Ag-Al共掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能的研究

• 作者: 艾国齐 谭红琳 马正洪
• 来源期刊: 热加工工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 掺杂ZnO薄膜 晶体结构 透光率
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 实验与研究
• 页码范围: 33-35,38
• 分类号: TG113.22
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3814.2011.03.011

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备了Ag+、Al3+共掺Zno薄膜,通过XRD、紫外分光光度计和金相显微镜等设备,研究了掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜组织结构和光学性能的影响.结果表明,掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构和光学性能的影响因浓度不同而有差异.Ag+、Al3+掺杂浓度为1%时,摩尔比为4:1;固定Ag+浓度为1.5%,Al3+浓度为0.5%;Ag+、Al3+浓度为3%,摩尔比为4:1,提拉次数15次时,ZaO薄膜的结构、透光率最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭红琳	昆明理工大学材料科学与工程学院	25	63	5.0	6.0
2	艾国齐	昆明理工大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0
3	马正洪	昆明理工大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0