大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究

• 作者: 吴东岷 周庚侠 孙天玉 班书宝 顾济华
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 微立体光刻 分辨率 树脂化学响应 临界调制传递函数
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 867-871
• 分类号: TN204
• 字数: 2990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2011.05.011

摘要

基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料.为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定.当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低.根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾济华	苏州大学物理科学与技术学院	85	716	13.0	22.0
2	班书宝	苏州大学物理科学与技术学院	4	8	2.0	2.0
6	周庚侠	苏州大学物理科学与技术学院	4	8	2.0	2.0
10	孙天玉	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	4	6	2.0	2.0
11	吴东岷	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	10	15	3.0	3.0