衬底温度对In2S3薄膜结构及其性能的影响

• 作者: 任明放 张啸 杨玲 王华 许积文
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热解 In2S3薄膜 衬底温度 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 415-418,434
• 分类号: O484
• 字数: 3040字
• 语种: 中文

摘要

采用超声喷雾热解法,在玻璃基底上一步合成了In2S3薄膜.研究了衬底温度对In2S3薄膜的结构、表面形貌、电学和光学性能影响.结果表明:所制备的In2S3薄膜均具有沿(220)面择优取向生长特性且无其他杂相,衬底温度对薄膜的均匀性、致密度、结晶程度均有明显影响,并因此影响薄膜的光电性能.薄膜的导电件随着衬底温度的升高迅速增强,但足在衬底温度为350℃时有所降低.衬底温度为300℃所制备的薄膜在可见光区透光率最高达到90%以上,禁带宽度达到2.43 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任明放	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	29	138	6.0	10.0
2	王华	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	98	463	13.0	17.0
3	许积文	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	68	171	6.0	10.0
4	杨玲	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	35	103	6.0	8.0
5	张啸	桂林电子科技大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0