基于激光回馈的波片在盘位相延迟测量系统

• 作者: 张书练 李岩 李浩昊 谈宜东
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 波片位相延迟 激光回馈 光胶盘
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 1003-1008
• 分类号: TN247
• 字数: 4044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2011.05.037

摘要

利用激光回馈测量波片相位延迟精度高的优越性,以激光回馈技术为基础,实现光学波片的在盘测量,即在加工过程中,波片光胶于光胶盘的状态下测量波片位相延迟,以提高波片生产效率和成品率.采用凹面镜作为回馈镜以提高回馈信号调制深度,对激光回馈内、外腔长进行稳定,提高了系统可靠性；研究了波片与光胶盘光胶对波片测量的影响,提出并验证了在光胶盘上开孔,在打孔的光胶盘上光胶、加工、测量波片的新工艺,最终实现了波片在盘测量,测量长期重复性优于1°,经过激光频率分裂系统校正后,系统精度优于0.5°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	75	955	17.0	28.0
2	张书练	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
3	谈宜东	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	48	4.0	6.0
4	李浩昊	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	2	1.0	1.0