基于氮氧化硅与聚合物混合集成低功耗全内反射热光开关

• 作者: 张燕 郑军凯 陈开鑫
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 光开关 热光原理 氮氧化硅 全内反射 混合集成 聚合物
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 光电子学
• 页码范围: 251-256
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1117001

摘要

利用具有相反热光特性的氮氧化硅(SiON)与聚合物材料,采用混合集成技术设计了一种低功耗全内反射(TIR)热光波导开关.该光开关通过在两交叉的氮氧化硅波导芯的X结中心部分制作一个深度等于波导芯厚度的狭缝,并在其中填充与波导包层相同的聚合物材料,同时在狭缝聚合物上方制作加热电极来实现开关功能.理论分析表明,通过选择与氮氧化硅折射率相匹配的聚合物材料,并优化设计单模光波导尺寸,两交叉波导间的夹角、所开狭缝的宽度以及相应的加热电极结构,对于1550 nm的工作波长,开关的驱动功率在低至2.3 mW时仍可实现消光比均大于36 dB,串扰均小于-36 dB的TE与TM模式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈开鑫		12	27	3.0	4.0
2	张燕		9	36	4.0	5.0
3	郑军凯		1	0	0.0	0.0