高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作

• 作者: 商艳龙 涂晟 王军波 陈德勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 谐振式加速度传感器 电磁激励 高灵敏度
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1114-1117
• 分类号: TP212
• 字数: 2167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.08.006

摘要

为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构.分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计.采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作.实验测试结果表明,加速度传感器在-1gn～1gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
2	王军波	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
3	商艳龙	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	2	11	2.0	2.0
4	涂晟	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0