闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路

• 作者: 刘晓为 周治平 尹亮 李海涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 闭环电容式微加速度计 全差分接口电路 比例-微分-积分控制器 低噪声 高线性度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 580-586
• 分类号: TH824.4|TN432
• 字数: 2859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111903.0580

摘要

提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路.基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2 μm n阱CMOS工艺完成芯片设计.仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构使系统的线性度达到0.01%.加入经过优化设计的比例-微分-积分控制器后,有效减小了系统稳态误差,系统响应速度提高了31%,系统线性度提高了66.7%.在±5 V工作电压下,选取64 kHz作为电路采样频率时,其电路等效输入噪声为8 μg·Hz-(1)/(2),系统灵敏度为1.22 V/g,线性度为0.03%,测量范围为±2 g.测试结果显示,提出的电路达到高精度微加速度计系统设计要求,可以应用到地震监测、石油勘探等领域中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓为	哈尔滨工业大学微电子技术与科学系	42	140	7.0	10.0
2	李海涛	哈尔滨工业大学微电子技术与科学系	19	172	8.0	12.0
3	尹亮	哈尔滨工业大学微电子技术与科学系	11	33	4.0	5.0
4	周治平	哈尔滨工业大学微电子技术与科学系	6	34	4.0	5.0