物理气相沉积技术的研究进展与应用

• 作者: 吴笛
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 物理气相沉积 沉积 薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 214-216
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2011.04.085

摘要

介绍了物理气相沉积技术的新工艺、新进展及其特点,总结了物理气相沉积技术的一些新应用.指出特殊功能复合膜的制备、复合膜的研究与应用以及超硬膜制备将是物理气相沉积技术今后研究的重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴笛	兰州石化职业技术学院机械工程系	16	129	4.0	11.0