电子级高纯多品硅生产工艺研究

• 来源期刊: 中国有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级 多晶硅 超高纯 生产工艺 电子信息产业 高科技领域 电子材料 基础材料
• 年，卷（期）: 2011,（17）
• 所属期刊栏目: 封面故事
• 页码范围: 31-31
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12
• 语种: 中文

摘要

高纯、超高纯多晶硅包括电子级、区熔级多晶硅，是主要的半导体电子材料，也是国防航空的基础材料，其后续产品广泛应用于电子信息领域。近年来，我国电子信息产业快速发展，特别是高科技领域对电子级多晶硅的需求量有所增加。