MEMS技术发展及应用优势

• 作者: 王勇
• 来源期刊: 飞航导弹
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 MEMS陀螺仪 MEMS加速度计 飞行器设计
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺与材料
• 页码范围: 85-89
• 分类号: TH703
• 字数: 4506字
• 语种: 中文

摘要

叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)技术特点,介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品,阐述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状,分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上应用优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇		5	57	2.0	5.0