基于光刻模型的光学邻近校正切分优化方法

• 作者: 史峥 沈泫
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 光学邻近校正 基于模型的切分 纹波抑制 格点搜索
• 年，卷（期）: 2011,（23）
• 所属期刊栏目: 工程应用技术与实现
• 页码范围: 211-213,225
• 分类号: N945.15
• 字数: 3534字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2011.23.072

摘要

在处理二维图形时需要耗费大量时间调试配方.为此,提出一种基于光刻模型的切分优化方法.采用纹波抑制的切分方法,并根据空间光强曲线的极值点分配切分片段,通过格点搜索选取方法参数,从而获得最优切分方案.实验结果表明,该方法能获得稳定的配方调试时间,且与参考配方结果相比,具有较好的光学邻近校正精度,可使边位置误差平均降低5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史峥	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	51	176	7.0	11.0
2	沈泫	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	1	0	0.0	0.0