非晶 Ti-Al 过渡层对 Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt电容器结构和性能的影响

• 作者: 代鹏超 刘保亭 李曼 赵冬月 郭哲 陈剑辉 韦梦祎
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: BST 薄膜 非晶 Ti-Al 薄膜 过渡层 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 161-165
• 分类号: O484
• 字数: 2534字
• 语种: 中文

摘要

应用磁控溅射法在 Pt/Ti/SiO2/Si(001)衬底上制备 5 mm 厚超薄非晶 Ti-Al 薄膜作为过渡层,利用脉冲激光沉积法制备 Ba0.6 Sr0.4TiO3 薄膜,构造了 Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt(Pt/BST/Pt)和 Pt/Ti-Al/Ba0.6Sr0.4TiO3/Ti-Al/Pt(Pt/Ti-Al/BST/Ti-Al/Pt)结构的电容器,研究了 Ti-Al 过渡层对 Pt/BST/Pt 电容器结构及其性能的影响.实验表明,过渡层的引入有效地阻止了 Pt 电极和 BST 薄膜的互扩散,降低了 BST 薄膜氧空位的浓度,提高了铁电电容器的介电性能.当测试频率为 1 kHz、直流偏压为0 V时,介电常数由引入过渡层前的 530 增大到引入后的 601,介电损耗则由0.09减小到0.03.而且过渡层的引入有效地降低了 BST 薄膜的漏电流,使正负向漏电流趋于对称,在测试电压为5 V 时,漏电流密度由3.8×10-5 A/cm2 减小到 8.25 ×10-6 A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈剑辉	河北大学物理科学与技术学院	10	43	4.0	6.0
2	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
3	李曼	河北大学物理科学与技术学院	13	54	4.0	7.0
4	赵冬月	河北大学物理科学与技术学院	5	36	3.0	5.0
8	郭哲	河北大学物理科学与技术学院	4	10	1.0	3.0
9	代鹏超	河北大学电子信息工程学院	3	8	1.0	2.0
10	韦梦祎	河北大学物理科学与技术学院	1	7	1.0	1.0