20CrNiMo钢表面空心阴极辉光放电制备类金刚石膜

• 作者: 周海 张跃飞 陈家庆 陈飞
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 辉光放电 空心阴极 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 5-9
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

在真空炉内以石墨为电极,利用空心阴极辉光放电在20CrNiMo上成功地沉积了类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜.利用激光拉曼(Baman)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了DLC薄膜的表面形貌;利用划痕仪测量了DLC薄膜与基体的结合力并用扫描电子显微镜(SEM)观察了划痕形貌;利用球-盘摩擦磨损实验仪对DLC薄膜的耐磨性能进行了研究.结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为0.6μm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度Ra为7～8 nm.类金刚石薄膜与基体结合较紧密,临界载荷达到52 N.DLC薄膜具有优良的减摩性,20CrNiMo表面沉积DLC薄膜后摩擦系数为0.15,较20CrNiMo基体的摩擦系数0.50明显减小,耐磨性能得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈家庆	北京石油化工学院材料科学与工程系	274	2922	28.0	37.0
2	张跃飞	北京印刷学院等离子体物理与材料实验室	41	237	9.0	13.0
3	周海	北京石油化工学院材料科学与工程系	79	487	12.0	17.0
4	陈飞	北京石油化工学院材料科学与工程系	100	461	11.0	15.0