用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜

• 作者: 王丽辉 王孝坤 邓伟杰 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 圆形子孔径拼接干涉 环形子孔径拼接干涉 大口径非球面 最小二乘拟合
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 520-528
• 分类号: TQ171.65|TH703
• 字数: 3999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111903.0520

摘要

研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量.分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并分别利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为350 mm的双曲面的检测.对待测非球面进行了零位补偿检测实验,结果显示,圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.031λ和0.004λ;环形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.028λ和0.006λ;3种方法测量所得的面形分布都是一致的.所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓伟杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	13	205	10.0	13.0
2	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	39	386	12.0	19.0
3	王孝坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室	29	222	10.0	14.0
4	王丽辉		1	16	1.0	1.0