纳米碳化硅/硅纳米孔柱阵列湿敏性能研究

• 作者: 孟晓波 李新建 王海燕 胡青飞 陈红彦 韩昌报
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 SiC/硅纳米孔柱阵列 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 638-641
• 分类号: TP212
• 字数: 3200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.05.003

摘要

以硅纳米孔阵列(Si-NPA)为衬底,采用化学气相沉积法分别制备了SiC纳米颗粒/Si-NPA(nc-SiC/Si-NPA)和SiC纳米线/Si-NPA(nw-Si/Si-NPA)复合体系,并对其表面成分和形貌、室温湿敏性能进行了表征.实验结果表明,nc-SiC/Si-NPA和nw-SiC/Si-NPA均对水蒸气表现出灵敏的电容响应.当环境相对湿度从%增加到95%,在100Hz的测试频率下nc-SiC/Si-NPA的电容增加了750%,而nw-SiC/Si-NPA的电容增加了1050%.通过升湿和降湿动态过程,测得nc-SiC/Si-NPA的响应和恢复时间均为10 s,nw-SiC/Si-NPA的响应和恢复时间分别为100s和150 s.分析表明,nc-SiC/Si-NPA、nw-SiC/Si-NPA对湿度的高度敏感性主要源于nc-SiC、nw-SiC所引起感应面积的巨大增加,而其较短的响应和恢复时间则归因于阵列结构为水蒸气提供了有效的传输通道.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海燕	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	62	372	11.0	16.0
5	李新建	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	52	218	8.0	13.0
6	韩昌报	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	4	34	3.0	4.0
7	陈红彦	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	1	2	1.0	1.0
8	胡青飞	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	2	5	2.0	2.0
9	孟晓波	郑州大学物理工程学院材料物理实验室	2	3	1.0	1.0